反光表面的自动缺陷检查和形状检测
稳定且可对标的价值判定
多工件和大型工件的测量要求
单套系统实现整体形状和缺陷控制
实时生产监控&过程控制
SpecGAGE3D 为汽车内饰/外饰、显示器、镜面、晶元和移动设备等反光表面的质量控制设定了标准。利用相位偏折法,它能在单次测量中检出形状偏差和表面缺陷,并将数据与 CAD 进行比对,在几秒内评估出差异。SpecGAGE3D 能准确识别表面缺陷,确保产品符合给定规格,从而简化检测流程,实现最高效率。
晶圆生产
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