本页显示了后道流程的所有检测解决方案

back end process

我们后道检测解决办法的整体优势


  • 质量控制:确保高质量标准
  • 提高产量:尽早识别和调整工艺偏差
  • 增强的可靠性:消除可能影响设备性能的潜在缺陷

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后道流程

通过零缺陷质量的芯片生产实现更高的产量、更强的可追溯性和更快的ROI:我们可组合的2D和3D分析系统通过单独检查所有芯片和评估集成电路封装,显著提高了质量保证。ISRA检测系统集成在前道和后道之间的接口上,可检测晶圆级和划片架中单个组件的缺陷。通过这种检查可确保只有无瑕疵的材料才能发送给客户。

后道流程

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电子器件的小型化正在挑战半导体制造商生产更小尺寸的元件,同时保持更严格的工艺控制要求。

ISRA VISION针对先进晶圆级封装的晶圆检测解决方案可确保整个半导体制造过程的可追溯性。我们的系统为提高设备性能提供了卓越的质量控制,使制造商能够及时检测、解决和监控工艺偏差。

优势

效率:同时扫描大块晶圆材料和晶圆边缘

灵活性:与现有工艺线无缝集成

延长机器正常运行时间:最大限度地减少加工过程中的晶圆破损

特征、典型缺陷和技术参数

特征

  • 可靠的缺陷检测和分类

  • 裂纹宽度小于5µm的缺陷检测

  • 晶圆图像/2D协作图像

  • 吞吐量:最高可达180 wph

  • 边缘检测工具集成到预对准器中

典型缺陷

  • 大块晶圆材料内部的微裂纹

  • 边缘碎屑 

  • 边缘附近的裂纹

  • 边缘脏污

技术参数

  • 采用不同波长的LED线路照明的高分辨率线路扫描相机

  • 可综合集成调节阈值和裂纹的敏感度,以灵敏地优化检测结果

  • 典型的分辨率:20μm,可选低至1.5μm

  • 半导体标准接口

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再减薄

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再减薄会在晶片表面引入缺陷,从而影响最终半导体器件的性能和功能。

因此,再减薄后的光学检查对于检测可能影响器件功能的缺陷至关重要。

在再减薄工艺之后进行光学检查可以使制造商将缺陷风险降至最低,并确保最终的半导体器件符合所需的性能和可靠性标准。这有助于提高半导体制造工艺的整体质量和产量。

优势

效率:以高达180片/小时的线速度同时扫描块体和表面

灵活性:与现有工艺线无缝集成

延长机器正常运行时间:最大限度地减少加工过程中的晶圆破损

高端定制、无缝集成到晶圆处理解决方案

与其他工艺步骤同步,控制再减薄的晶圆边缘 - 不影响现有的循环时间

特征、典型缺陷和技术参数

特征

  • 可靠的缺陷检测和分类

  • 裂纹宽度小于5µm的缺陷检测

  • 晶圆图像/2D协作图像

  • 再减薄晶圆边缘的裂纹/切屑的工艺控制

  • 吞吐量:最高可达180 wph

  • 边缘检测工具集成到预对准器中

 

 

典型缺陷

  • 大块晶圆材料内部的微裂纹

  • 边缘碎屑

  • 边缘附近的裂纹

  • 脏污

 

 

技术参数

  • 采用不同波长的LED线路照明的高分辨率线路扫描相机

  • 可综合集成调节阈值和裂纹的敏感度,以灵敏地优化检测结果

  • 典型的微裂纹检测分辨率:20μm,可选择低至1.5μm

  • 典型的边缘检测的像素分辨率:3微米/像素(μm/px)

  • 与减薄晶圆处理集成

  • 半导体标准接口

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划片后检测:半导体制造中切割道的100%检测

dicing inspection

划片晶圆可能导致划片道中的缺陷,导致产量损失并影响下游工艺。

对划片道的精确检查可以可靠地检测这些缺陷,并将芯片和裸片的报废率降至最低。DicingScan(划片扫描)检测工具提供晶圆检测。高性能线扫描相机可精确检测切割道中的边缘碎屑等缺陷。此外,该工具还可检查切割道的存在、位置和完整性。

我们的专利MultiView成像技术构成了WafQScan(表面检测)工艺的基础,用户还可以通过载带(箔)检查晶圆的背面。DicingScan(划片扫描)确保只处理质量完好的裸片/芯片。

优势

效率:一次扫描完成多项检查任务

质量控制:只处理高质量的裸片和芯片

特征、典型缺陷和技术参数

特征
  • 划片后立即进行划片割道检查

  • 裸片(微观)裂纹检查

  • 检查划片割道的位置、完整性和质量

  • 正面和背面检查,甚至通过载带检查

典型缺陷

  • 未完成划片

  • 裂纹

  • 气泡

  • 断开

  • 碎屑

技术参数
 

  • 多视图技术,可同时拍摄图像
  • 半导体标准接口

客户服务和培训

Service

为了使您的生产系统高效且经得起未来的考验,我们高素质的服务团队在全球范围内为您提供力所能及的支持。我们全天候快速、可靠地为您的系统提供安装、维护和服务以及分析和优化。

请访问我们的服务中心,获得您的定制服务解决方案。

此外,在伊斯拉视像学院学习,我们的资深培训师让您的员工及时了解最新知识,让您的系统操作员、产品工程师和质量经理成为真正的检测专家。

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伊斯拉视像设备制造(上海)有限公司

董长生

半导体项目经理
上海
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Tony Dong