晶圆生产

即使在持续的晶圆生产过程中，确保最高质量和工艺可靠性同时，也能提高良率。

我们的光学在线检测系统能够可靠地检测微裂纹并大幅提升产能。通过及早检测出晶圆正面、背面和边缘的蚀刻残留等缺陷，您可以在缺陷材料进入生产工艺的下一阶段之前将其剔除，从而节省成本。