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即使在持续的晶圆生产过程中,确保最高质量和工艺可靠性同时,也能提高良率。
我们的光学在线检测系统能够可靠地检测微裂纹并大幅提升产能。通过及早检测出晶圆正面、背面和边缘的蚀刻残留等缺陷,您可以在缺陷材料进入生产工艺的下一阶段之前将其剔除,从而节省成本。
即使在高速度下也能实现100%在线检测 - 精确可靠地检测宏观缺陷并进行分类
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检测大块晶圆材料中的缺陷和微裂纹 - 只将无缺陷的晶圆传送至打磨机
以最高精度检测边缘缺陷,极大减少加工机器的停机时间
使用偏折3D检测来检测并记录最大高度偏差和晶圆表面曲率