SpecGAGE3D:对反光部件的自动形状检测
发光部件的形状偏差不能用肉眼检测到。ISRA的SpecGAGE3D系列首次实现了对曲面和平面待测物的镜面和反射面的自动测量和检测。
所有SpecGAGE3D系统都根据相位偏折测量原理工作，即反射条纹图案由多个摄像机记录并随之评估。根据抓取的一系列图像来重构目标的几何形状，并与CAD模型进行匹配。检出意外的形状偏差和缺陷如果缺陷已知-直接分类。
应用包括智能手机盖板玻璃、抬头显示器或半导体晶圆的质量控制。
通过自动化形状控制，SpecGAGE3D实现了生产缺陷的可追溯性，缺陷品的排出，以及持续的工艺改进以提高生产率。
相位偏折工艺可以在线、沿线和离线使用。