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在提高产量的同时,提高良率。ISRA的光学在线检测系统可保证出色的质量评估。
在硅片加工过程中,我们的技术能够以最高精度检测并分类甚至最细微的缺陷。
当用于硅片生产时,我们的检测解决方案使用户能够根据不同的质量等级对硅片进行分类,并提供关于如何优化上游工艺的见解。相比之下,如果在电池制造开始时使用,系统可帮助用户在进行第一个工艺步骤前就剔除不合规格的硅片。
即使在较高生产速度下,也能够完成在线监控。可靠地识别和分类原始硅片的所有可见表面缺陷
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