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通过零缺陷质量,提高芯片产量并提升客户满意度。
我们可组合的2D和3D分析系统可单独检测每一个芯片并评估集成电路封装,从而极大提升质量保证。ISRA检测系统集成在前端与后端之间的接口处,可在晶圆级和切割框架中检测单个组件中的缺陷。100%检测可确保只将无缺陷的材料交付给客户。
检测大块晶圆材料中的缺陷和微裂纹 - 只将无缺陷的晶圆传送至打磨机
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100%检测切割道正面和背面
借助高精度3D测量技术,检测晶圆和单个芯片的表面光洁度,精度高达纳米级