FPM-Edge

FPM Edge使用多个照明通道和高分辨率相机来检查薄玻璃基板的边缘。传感器系统以市场上较好的图像质量扫描边缘。它清晰可靠地对所有典型的边缘缺陷进行分类，如切屑、裂纹、毛刺、烧伤痕迹和不对称，确保了可靠的质量分级，并确保客户能获得完美的材料。

凭借其180°玻璃边缘视图，FPM edge还可以检测磨削偏差，并为改进磨削工艺提供重要数据。

附加FPM Inspect和FPM Review通过表面检查和用于缺陷复查的自动显微镜实现了完整的检查线。