FPM-Inspect

表面检查系统FPM Inspect使用各种照明通道和高分辨率相机检查薄玻璃基板。它保证了可靠的质量分类，并确保客户收到完美无瑕的材料。

该系统可组合三项检查任务

• 典型玻璃和表面缺陷的高分辨率检测：FPM Inspect可可靠地检测和分类最微小的缺陷，如碎屑、凹痕、PT针、夹杂物或气泡。

• 即使是最微小的划痕也能检测到；照明系统是专门为独立于方位的划痕检测而设计的。
  

• 颗粒计数：集成颗粒照明系统允许FPM Inspect检测所有亚微米颗粒。

这种三合一解决方案消除了对额外检查系统的需求，从而节省了空间和运营成本。附加产品FPM Edge和FPM Review通过边缘检查和用于缺陷审查的自动显微镜实现完整的检查线。