用于监测洁净室质量的可靠颗粒物计数
FPM Particle以高精度检测薄玻璃基板，提供颗粒分布的统计分析。该系统采用高分辨率相机和特殊照明技术，可检测微米范围内的颗粒，并按大小进行分类。因此，它为监控洁净室质量和优化清洁过程提供了可靠的数据。
用户可以添加扩展产品FPM Inspect、FPM Edge和FPM Review，以通过表面和边缘检查增强颗粒检查，以及用于检测复检到的缺陷的自动显微镜。
- 亚微米颗粒计数
- 用于表面和边缘检测的完整产品系列，以及复检站
- 适用于薄玻璃基板的极短检测线
- > 99,9%上下表面分层准确率
- 用于检查卷材或完整基材的单个或多个传感器设置
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