精准的缺陷深度测量
大视野缺陷命中率
用于表面和玻璃缺陷以及划痕的多功能传感器
精准的缺陷尺寸信息
缺陷的再次分类
为了确保即使是较小的缺陷也能获得可靠的质量分级,FPM Review使用自动显微镜对FPM Inspect检测到的缺陷进行了更详细的分析。根据高分辨率显微镜图像,重新检查缺陷分类,精确测量缺陷尺寸,并确定其在玻璃内的位置。收集到的精确信息确保了可靠的分级,哪些板材符合进一步加工或交付的规范。
凭借其大视场—较高图像分辨率—FPM Review可以可靠地定位和成像所有缺陷,即使在跨多个站点运输之后也是如此。
该系统使用专门设计的不受玻璃倾斜或翘曲影响的距离传感器来测量玻璃内缺陷的精确深度。通过可选的双头配置,系统可以在短周期内复检更多缺陷。
附加产品FPM Inspect和FPM Edge通过表面检测和边缘检测系统实现完整的检测线。
平板显示器玻璃
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