WafQScan

可靠检测缺陷,如脏污或微划痕

杰出的半导体晶圆片表面缺陷检测

WafQScan能够对半导体晶圆片进行全面的在线表面检测。使用在不同照明场景下拍摄的像素同步图像,专利的MultiView技术确保了单次扫描中卓越的缺陷检测率。WafQScan是裸片、切割片和加工片应用的理想解决方案。

用WafQScan检测晶圆表面的缺陷

该系统可靠地检测所有缺陷,如污染物和蚀刻残留物。通过及早发现缺陷并排出有缺陷的晶圆,WafQScan可确保产量和产能利用率。用户因此受益于快速的投资回报。

通过EdgeScan选项对系统进行补充,用户除了可以进行表面检查外,还可以对晶圆边缘进行光学检查

  • 具有自适应波长和分辨率的多视图技术
  • 手动或全自动配置
  • 带半导体标准硬软件接口的检查模

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晶圆生产

半导体晶圆片的表面检测:WafQScan可以通过多视角技术可靠地检测污染或微划痕等缺陷
wafer production

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