杰出的半导体晶圆片表面缺陷检测
WafQScan能够对半导体晶圆片进行全面的在线表面检测。使用在不同照明场景下拍摄的像素同步图像，专利的MultiView技术确保了单次扫描中卓越的缺陷检测率。WafQScan是裸片、切割片和加工片应用的理想解决方案。
用WafQScan检测晶圆表面的缺陷
该系统可靠地检测所有缺陷，如污染物和蚀刻残留物。通过及早发现缺陷并排出有缺陷的晶圆，WafQScan可确保产量和产能利用率。用户因此受益于快速的投资回报。
通过EdgeScan选项对系统进行补充，用户除了可以进行表面检查外，还可以对晶圆边缘进行光学检查
- 具有自适应波长和分辨率的多视图技术
- 手动或全自动配置
- 带半导体标准硬软件接口的检查模
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